論文の概要: Nanostructured-membrane electron phase plates

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2001.01144v1
• Date: Sun, 5 Jan 2020 00:31:44 GMT
• ステータス: 処理完了
• システム内更新日: 2023-01-14 08:08:36.573887
• Title: Nanostructured-membrane electron phase plates
• Title（参考訳）: ナノ構造膜電子相板
• Authors: Yujia Yang, Chung-Soo Kim, Richard G. Hobbs, Phillip D. Keathley, Karl K. Berggren
• Abstract要約: 電子ビームリソグラフィーおよび反応性イオンエッチングによる大面積電子相板の作製を行った。 位相板は、回折ビームのコヒーレント干渉に基づいて、明るさ場の中央にヌルを生成できることがわかった。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.6299766708197883
• License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
• Abstract: Electron beams can acquire designed phase modulations by passing through nanostructured material phase plates. These phase modulations enable electron wavefront shaping and benefit electron microscopy, spectroscopy, lithography, and interferometry. However, in the fabrication of electron phase plates, the typically used focused-ion-beam-milling method limits the fabrication throughput and hence the active area of the phase plates. Here, we fabricated large-area electron phase plates with electron-beam lithography and reactive-ion-etching. The phase plates are characterized by electron diffraction in transmission electron microscopes with various electron energies, as well as diffractive imaging in a scanning electron microscope. We found the phase plates could produce a null in the center of the bright-field based on coherent interference of diffractive beams. Our work adds capabilities to the fabrication of electron phase plates. The nullification of the direct beam and the tunable diffraction efficiency demonstrated here also paves the way towards novel dark-field electron-microscopy techniques and tunable electron phase plates.
• Abstract（参考訳）: 電子ビームはナノ構造材料相板を通過して設計した位相変調を得ることができる。 これらの位相変調は電子波面形成を可能にし、電子顕微鏡、分光、リソグラフィー、干渉計の恩恵を受ける。 しかし、電子相板の製造においては、通常、集束イオンビームミリング法が製造スループットを制限し、したがって相板の活性面積を制限している。 そこで我々は電子ビームリソグラフィーと反応性イオンエッチングによる大面積電子相板を作製した。 位相板は、様々な電子エネルギーを持つ透過電子顕微鏡における電子回折と走査電子顕微鏡における回折イメージングによって特徴づけられる。 位相板は、回折ビームのコヒーレント干渉に基づいて、明るさ場の中央にヌルを生成できることがわかった。 我々の研究は電子相板の製造に能力を加えている。 ここで示される直接ビームの無効化と波長可変回折効率は、新しい暗視野電子マイクロスコープ技術と波長可変電子位相プレートへの道を開く。

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