論文の概要: Robotic chip-scale nanofabrication for superior consistency

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2511.19432v1
• Date: Mon, 24 Nov 2025 18:59:45 GMT
• ステータス: 翻訳完了
• システム内更新日: 2025-11-25 18:34:25.385618
• Title: Robotic chip-scale nanofabrication for superior consistency
• Title（参考訳）: 優れた整合性のためのロボットチップスケールナノファブリケーション
• Authors: Felix M. Mayor, Wenyan Guan, Erik Szakiel, Amir H. Safavi-Naeini, Samuel Gyger,
• Abstract要約: 本稿では,ロボットアームを用いて低体積・高吸蔵作業を自動化することにより,プロセス制御と整合性を改善することを提案する。 プロセスの再現性に関する統計的比較は、ロボットプロセスが2%近いチップにまたがる抵抗を達成していることを示している。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
• License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
• Abstract: Unlike the rigid, high-volume automation found in industry, academic research requires process flexibility that has historically relied on variable manual operations. This hinders the fabrication of advanced, complex devices. We propose to address this gap by automating these low-volume, high-stakes tasks using a robotic arm to improve process control and consistency. As a proof of concept, we deploy this system for the resist development of Josephson junction devices. A statistical comparison of the process repeatability shows the robotic process achieves a resistance spread across chips close to 2%, a significant improvement over the ~7% spread observed from human operators, validating robotics as a solution to eliminate operator-dependent variability and a path towards industrial-level consistency in a research setting.
• Abstract（参考訳）: 業界で見られる厳格で高ボリュームの自動化とは異なり、学術研究は歴史的に様々な手動操作に依存してきたプロセスの柔軟性を必要とする。 これにより、高度な複雑なデバイスの製造が妨げられる。 プロセス制御と一貫性を向上させるためにロボットアームを用いて,これらの低体積・高吸蔵作業を自動化することで,このギャップに対処することを提案する。 概念実証として,ジョセフソン接合素子のレジスト開発のためのシステムを展開する。 プロセスの再現性に関する統計的比較では、ロボットプロセスが2%近いチップにまたがる抵抗を達成し、人間のオペレーターが観察した7%以上の大幅な改善を達成し、演算子に依存した可変性を排除するための解決策としてロボットを検証し、研究環境における産業レベルの一貫性への道筋を示す。

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