論文の概要: A CMOS compatible platform for high impedance superconducting quantum
circuits
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2109.06491v1
- Date: Tue, 14 Sep 2021 07:45:08 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-03-15 03:24:07.736883
- Title: A CMOS compatible platform for high impedance superconducting quantum
circuits
- Title（参考訳）: 高インピーダンス超伝導量子回路のためのCMOS互換プラットフォーム
- Authors: Kazi Rafsanjani Amin (NEEL, CEA-LETI), Carine Ladner (CEA-LETI, UGA),
Guillaume Jourdan (CEA-LETI, UGA), Sebastien Hentz (CEA-LETI, UGA), Nicolas
Roch (NEEL), Julien Renard (NEEL)
- Abstract要約: CMOS互換法を用いて成長したダイレント厚さの窒化チタンlmsの直流(DC)とマイクロ波による複合研究について報告する。
厚さがTiN lmのマイクロ波共振器の場合,LK$240 pH/sq,高モードインピーダンスはsim$4.2 k$Omega$であり,マイクロ波品質係数はsim$105であった。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: Aluminium based platforms have allowed to reach major milestones for
superconducting quantum circuits. For the next generation of devices, materials
that are able to maintain low microwave losses while providing new
functionalities, such as large kinetic inductance or compatibility with CMOS
platform are sought for. Here we report on a combined direct current (DC) and
microwave investigation of titanium nitride lms of dierent thicknesses grown
using CMOS compatible methods. For microwave resonators made of TiN lm of
thickness $\sim$3 nm, we measured large kinetic inductance LK $\sim$ 240 pH/sq,
high mode impedance of $\sim$ 4.2 k$\Omega$ while maintaining microwave quality
factor $\sim$ 10^5 in the single photon limit. We present an in-depth study of
the microwave loss mechanisms in these devices that indicates the importance of
quasiparticles and provide insights for further improvement.
- Abstract（参考訳）: アルミニウムベースのプラットフォームは超伝導量子回路の主要なマイルストーンに達することができた。
次世代デバイスでは、大きな運動インダクタンスやCMOSプラットフォームとの互換性といった新機能を提供しながら、低マイクロ波損失を維持することができる材料が求められている。
ここでは直流(DC)とマイクロ波を組み合わせたCMOS互換法を用いて成長したダイレント厚の窒化チタンlmsについて報告する。
厚さ$\sim$3 nmのTiN lmのマイクロ波共振器では、大きな運動インダクタンスLK $\sim$240 pH/sq、高モードインピーダンス$\sim$4.2 k$\Omega$、マイクロ波品質係数$\sim$10^5を単一光子限界で測定した。
これらの装置のマイクロ波損失機構について, 準粒子の重要性を示唆し, さらなる改善に向けた知見を提供する。
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