論文の概要: Secondary Electron Count Imaging in SEM

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2111.01862v1
• Date: Tue, 2 Nov 2021 19:47:28 GMT
• ステータス: 処理完了
• システム内更新日: 2023-03-09 08:40:01.938432
• Title: Secondary Electron Count Imaging in SEM
• Title（参考訳）: SEMにおける二次電子計数イメージング
• Authors: Akshay Agarwal, John Simonaitis, Vivek K. Goyal, and Karl K. Berggren
• Abstract要約: 我々は、検出器とビーム走査信号を顕微鏡から同期的に外し、SEカウントイメージング方式を実装した。 従来の画像と比較すると,SEカウントによる画像信号対雑音比の30%増加を示す。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 8.945293739527408
• License: http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
• Abstract: Scanning electron microscopy (SEM) is a versatile technique used to image samples at the nanoscale. Conventional imaging by this technique relies on finding the average intensity of the signal generated on a detector by secondary electrons (SEs) emitted from the sample and is subject to noise due to variations in the voltage signal from the detector. This noise can result in degradation of the SEM image quality for a given imaging dose. SE count imaging, which uses the direct count of SEs detected from the sample instead of the average signal intensity, would overcome this limitation and lead to improvement in SEM image quality. In this paper, we implement an SE count imaging scheme by synchronously outcoupling the detector and beam scan signals from the microscope and using custom code to count detected SEs. We demonstrate a ~30% increase in the image signal-to-noise-ratio due to SE counting compared to conventional imaging. The only external hardware requirement for this imaging scheme is an oscilloscope fast enough to accurately sample the detector signal for SE counting, making the scheme easily implementable on any SEM.
• Abstract（参考訳）: 走査型電子顕微鏡(SEM)は、ナノスケールで試料を撮像する多用途技術である。 この手法による従来のイメージングでは、試料から放出される二次電子(ses)によって検出器に発生する信号の平均強度を求め、検出器からの電圧信号の変化によるノイズを受ける。 このノイズは、所定の撮像線量に対するSEM画像品質の低下をもたらす可能性がある。 平均信号強度の代わりにサンプルから検出されたSEの直接数を用いるSEカウントイメージングは、この制限を克服し、SEM画像の品質を向上させる。 本稿では,検出器とビーム走査信号を顕微鏡から同期的に分離し,検出したsesをカスタムコードでカウントすることで,seカウントイメージング手法を実装した。 従来の画像と比較すると,SEカウントによる画像信号対雑音比の約30%増加を示す。 この撮像方式の唯一の外部ハードウェア要件は、SEカウントのための検出器信号を正確にサンプリングするのに十分な速度のオシロスコープであり、任意のSEMで容易に実装できる。

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