論文の概要: Domain Adaptation for Image Classification of Defects in Semiconductor Manufacturing
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2506.15260v1
- Date: Wed, 18 Jun 2025 08:37:55 GMT
- ステータス: 翻訳完了
- システム内更新日: 2025-06-19 19:35:51.597687
- Title: Domain Adaptation for Image Classification of Defects in Semiconductor Manufacturing
- Title(参考訳): 半導体製造における欠陥の画像分類のための領域適応
- Authors: Adrian Poniatowski, Natalie Gentner, Manuel Barusco, Davide Dalle Pezze, Samuele Salti, Gian Antonio Susto,
- Abstract要約: ドメイン適応(DA)は、(ソース)ドメインで学んだ知識を使用して、異なるが関連する(ターゲット)ドメインに適応し、効果的に実行するので、非常に効果的であることが証明されています。
本稿では,CycleGANにインスパイアされたモデルであるDBACSアプローチを提案する。
全てのアプローチは、教師なしおよび半教師なしの設定を考慮して、実世界の電子顕微鏡画像上で研究され、検証される。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 10.350843258290153
- License: http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
- Abstract: In the semiconductor sector, due to high demand but also strong and increasing competition, time to market and quality are key factors in securing significant market share in various application areas. Thanks to the success of deep learning methods in recent years in the computer vision domain, Industry 4.0 and 5.0 applications, such as defect classification, have achieved remarkable success. In particular, Domain Adaptation (DA) has proven highly effective since it focuses on using the knowledge learned on a (source) domain to adapt and perform effectively on a different but related (target) domain. By improving robustness and scalability, DA minimizes the need for extensive manual re-labeling or re-training of models. This not only reduces computational and resource costs but also allows human experts to focus on high-value tasks. Therefore, we tested the efficacy of DA techniques in semi-supervised and unsupervised settings within the context of the semiconductor field. Moreover, we propose the DBACS approach, a CycleGAN-inspired model enhanced with additional loss terms to improve performance. All the approaches are studied and validated on real-world Electron Microscope images considering the unsupervised and semi-supervised settings, proving the usefulness of our method in advancing DA techniques for the semiconductor field.
- Abstract(参考訳): 半導体部門では、需要が高く、競争力も強く、市場投入までの時間と品質は、様々な分野において重要な市場シェアを確保する上で重要な要素である。
近年のコンピュータビジョン分野におけるディープラーニング手法の成功により、欠陥分類などの産業用 4.0 および 5.0 のアプリケーションは目覚ましい成功を収めた。
特に、ドメイン適応(DA)は、(ソース)ドメインで学んだ知識を使用して、異なるが関連する(ターゲット)ドメインに適応し、効果的に実行するので、非常に効果的であることが証明されています。
堅牢性とスケーラビリティを改善することで、DAはモデルの広範な手作業によるリラベルや再トレーニングの必要性を最小限にする。
これは計算とリソースのコストを削減するだけでなく、人間のエキスパートが高価値なタスクに集中できるようにする。
そこで本研究では,半導体フィールドのコンテキスト内における半教師付きおよび教師なし設定におけるDA手法の有効性を検証した。
さらに,CycleGANにインスパイアされたモデルであるDBACS手法を提案する。
半導体分野におけるDA技術の進歩における本手法の有用性を実証し, 教師なし, 半教師なしの設定を考慮し, 実世界の電子顕微鏡画像を用いて検討・検証を行った。
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