論文の概要: Zero-Shot Multi-Class Wafer Map Classification with Rule-Ordered Prompts for Large Multimodal Models
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2610.35080v1
- Date: Mon, 26 Oct 2026 09:24:24 GMT
- ステータス: 翻訳完了
- システム内更新日: 2026-10-27 22:27:13.811098
- Title: Zero-Shot Multi-Class Wafer Map Classification with Rule-Ordered Prompts for Large Multimodal Models
- Title(参考訳): ルール順序付きプロンプトを用いた大規模マルチモーダルモデルのためのゼロショットマルチクラスウェハマップ分類
- Abstract要約: 本稿では,コネクテッドコンポーネントハイライトと形態,位置,排他的プロンプトを組み合わせたトレーニングフリーな6クラスフレームワークを提案する。
Mixed-WM38 (6,866 マップ)では、マルチリージョンプロンプトは92.9%のマクロと93.8%の全体的な精度を実現している。
WM811K(9000の地図)では、それぞれ79.1%と81.3%を達成した。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 1.5293477050077664
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: Wafer-map defect classification often requires labeled data and retraining when production conditions change. We present a training-free six-class framework that combines connected-component highlighting with morphology-, location-, and exclusion-aware prompts for a frozen large multimodal model. On Mixed-WM38 (6,866 maps), multi-region prompting achieves 92.9% macro and 93.8% overall accuracy. On WM811K (9,000 maps), it achieves 79.1% and 81.3%, respectively. Eight alternative rule orders achieve 90.1-91.9% overall accuracy, compared with 93.8% for the selected order.
- Abstract(参考訳): ウェーハマップの欠陥分類は、しばしばラベル付きデータと生産条件が変わったときに再訓練を必要とする。
凍結した大規模マルチモーダルモデルに対して,連結コンポーネントハイライトと形態・位置・排他的プロンプトを併用したトレーニングフリーな6クラスフレームワークを提案する。
Mixed-WM38 (6,866 マップ)では、マルチリージョンプロンプトは92.9%のマクロと93.8%の全体的な精度を実現している。
WM811K(9000の地図)では、それぞれ79.1%と81.3%を達成した。
8つの代替規則命令は、全体の90.1-91.9%の精度を達成し、選択された順序は93.8%である。
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