Fugu-MT 論文翻訳(概要): Development of All-Diamond Scanning Probes Based on Faraday Cage Angled Etching Techniques

論文の概要: Development of All-Diamond Scanning Probes Based on Faraday Cage Angled Etching Techniques

arxiv url: http://arxiv.org/abs/2104.03680v2
Date: Mon, 12 Apr 2021 08:10:25 GMT
ステータス: 処理完了
システム内更新日: 2023-04-04 12:16:05.950068
Title: Development of All-Diamond Scanning Probes Based on Faraday Cage Angled Etching Techniques
Title（参考訳）: ファラデーケージアングルエッチング法による全ダイヤモンド走査プローブの開発
Authors: C. Giese, P. Quellmalz and P. Knittel
Abstract要約: 単結晶ダイヤモンド走査型プローブの創製法を提案する。ファラデーケージアングルエッチング法(FCAE)を応用した。本研究では,最初の概念実証 FCAE-prototypes を走査プローブへの応用に適用する。
参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
License: http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
Abstract: We are proposing a novel fabrication method for single crystal diamond scanning probes, exploiting the method of Faraday cage angled etching (FCAE). Electron-beam lithography (EBL) and inductively coupled plasma (ICP) etching as state-of-the-art method is often limiting the achievable diamond structure geometries in aspect ratio and complexity. This poses challenges, e.g., for realizing nitrogen vacancy (NV) centre magnetometry scanning probes. Combining a planar design with FCAE offers several advantages over the established fabrication technology of nano-opto-mechanical diamond devices. Here, we report on the direct comparison of both approaches and present first proof-of-concept FCAE-prototypes for scanning probe applications.
Abstract（参考訳）: 本研究では,Faraday cage angled etching (FCAE) 法を利用した単結晶ダイヤモンド走査プローブの創製法を提案する。電子ビームリソグラフィー (EBL) と誘導結合プラズマ (ICP) エッチングは、しばしば達成可能なダイヤモンド構造のジオメトリーをアスペクト比と複雑さで制限する。これは窒素空孔(NV)中心磁束走査プローブの実現など、課題を提起する。平面設計とFCAEを組み合わせることで、ナノオプトメカニカルダイヤモンドデバイスの確立した製造技術に対していくつかの利点がある。本稿では,両手法の直接比較と,走査型プローブ応用のための最初の概念実証FCAEプロトタイプについて報告する。

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