論文の概要: Swept-Angle Synthetic Wavelength Interferometry
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2205.10655v4
- Date: Wed, 29 Mar 2023 19:06:36 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-03-31 18:29:22.702172
- Title: Swept-Angle Synthetic Wavelength Interferometry
- Title(参考訳): sept-angle合成波長干渉計
- Authors: Alankar Kotwal and Anat Levin and Ioannis Gkioulekas
- Abstract要約: フルフィールドミクロンスケール3Dセンシングのための新しいイメージング技術であるスワップアングル合成波長干渉法を提案する。
我々の技術は2つの狭帯域光波長からなる光を用いており、結果として1ピクセルあたりの干渉測定を行う。
実験的なプロトタイプを構築し、さまざまなオブジェクトをスキャンしてこれらの能力を実証するために使用します。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 22.706332189135242
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: We present a new imaging technique, swept-angle synthetic wavelength
interferometry, for full-field micron-scale 3D sensing. As in conventional
synthetic wavelength interferometry, our technique uses light consisting of two
narrowly-separated optical wavelengths, resulting in per-pixel interferometric
measurements whose phase encodes scene depth. Our technique additionally uses a
new type of light source that, by emulating spatially-incoherent illumination,
makes interferometric measurements insensitive to aberrations and (sub)surface
scattering, effects that corrupt phase measurements. The resulting technique
combines the robustness to such corruptions of scanning interferometric setups,
with the speed of full-field interferometric setups. Overall, our technique can
recover full-frame depth at a lateral and axial resolution of 5 microns, at
frame rates of 5 Hz, even under strong ambient light. We build an experimental
prototype, and use it to demonstrate these capabilities by scanning a variety
of objects, including objects representative of applications in inspection and
fabrication, and objects that contain challenging light scattering effects.
- Abstract(参考訳): フルフィールドミクロンスケール3Dセンシングのための新しいイメージング技術であるスワップアングル合成波長干渉法を提案する。
従来の合成波長インターフェロメトリと同様に、2つの狭分割光学波長からなる光を使用し、その位相がシーン深度をエンコードするピクセル単位のインターフェロメトリー測定を行う。
さらに, 空間的に不連続な照明をエミュレートすることで, 干渉計測が収差や(サブ) 表面散乱に影響を受けず, 位相測定が損なうような新しいタイプの光源を用いる。
その結果得られた手法は、スキャニング干渉計の設定の破壊とフルフィールド干渉計の設定の速度とを組み合わせる。
総じて, 強い周囲光の下でも, フレームレート5Hz, 横方向および軸方向の分解能5μnで全フレーム深度を復元することができる。
実験的なプロトタイプを構築し、様々なオブジェクトをスキャンして、検査や製造における応用を表すオブジェクトや、難解な光散乱効果を含むオブジェクトを含む、これらの機能を実証する。
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