論文の概要: Monitoring MBE substrate deoxidation via RHEED image-sequence analysis
by deep learning
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2210.03430v1
- Date: Fri, 7 Oct 2022 10:01:06 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2022-10-10 15:18:49.193671
- Title: Monitoring MBE substrate deoxidation via RHEED image-sequence analysis
by deep learning
- Title(参考訳): 深層学習によるRHEED画像系列解析によるMBE基板の脱酸化モニタリング
- Authors: Abdourahman Khaireh-Walieh, Alexandre Arnoult, S\'ebastien Plissard,
Peter R. Wiecha
- Abstract要約: 本稿では,深層学習に基づくRHEED画像系列分類を用いたMBEにおけるGaAs基板脱酸化の自動監視手法を提案する。
提案手法は,機能抽出のための非教師付きオートエンコーダ(AE)と,教師付き畳み込みネットワークを組み合わせたものである。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 62.997667081978825
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: Reflection high-energy electron diffraction (RHEED) is a powerful tool in
molecular beam epitaxy (MBE), but RHEED images are often difficult to
interpret, requiring experienced operators. We present an approach for
automated surveillance of GaAs substrate deoxidation in MBE using deep learning
based RHEED image-sequence classification. Our approach consists of an
non-supervised auto-encoder (AE) for feature extraction, combined with a
supervised convolutional classifier network. We demonstrate that our
lightweight network model can accurately identify the exact deoxidation moment.
Furthermore we show that the approach is very robust and allows accurate
deoxidation detection during months without requiring re-training. The main
advantage of the approach is that it can be applied to raw RHEED images without
requiring further information such as the rotation angle, temperature, etc.
- Abstract(参考訳): 反射高エネルギー電子回折(RHEED)は分子線エピタキシー(MBE)において強力なツールであるが、RHEED画像はしばしば解釈が困難であり、経験豊富な演算子を必要とする。
本稿では,深層学習に基づくRHEED画像系列分類を用いたMBEにおけるGaAs基板脱酸化の自動監視手法を提案する。
提案手法は,特徴抽出のための非教師付きオートエンコーダ(AE)と,教師付き畳み込み分類器ネットワークを組み合わせたものである。
軽量ネットワークモデルは正確な脱酸化モーメントを正確に識別できることを実証する。
さらに,本手法は極めて堅牢であり,再トレーニングを必要とせず,数ヶ月間に正確な脱酸化検出を可能にすることを示す。
このアプローチの主な利点は、回転角や温度などの情報を必要とすることなく、生のRHEED画像に適用できる点である。
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