論文の概要: Defect Detection Approaches Based on Simulated Reference Image
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2303.11971v1
- Date: Tue, 21 Mar 2023 16:04:09 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-03-22 14:11:31.154443
- Title: Defect Detection Approaches Based on Simulated Reference Image
- Title(参考訳): 模擬参照画像に基づく欠陥検出手法
- Authors: Nati Ofir, Yotam Ben Shoshan, Ran Badanes and Boris Sherman
- Abstract要約: 我々は、いくつかの自然画像異常に加えて、SEM半導体欠陥に着目する。
本研究では, シミュレーションされた参照が, 結果の改善に有用であることを示す。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 0.6554326244334867
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: This work is addressing the problem of defect anomaly detection based on a
clean reference image. Specifically, we focus on SEM semiconductor defects in
addition to several natural image anomalies. There are well-known methods to
create a simulation of an artificial reference image by its defect specimen. In
this work, we introduce several applications for this capability, that the
simulated reference is beneficial for improving their results. Among these
defect detection methods are classic computer vision applied on
difference-image, supervised deep-learning (DL) based on human labels, and
unsupervised DL which is trained on feature-level patterns of normal reference
images. We show in this study how to incorporate correctly the simulated
reference image for these defect and anomaly detection applications. As our
experiment demonstrates, simulated reference achieves higher performance than
the real reference of an image of a defect and anomaly. This advantage of
simulated reference occurs mainly due to the less noise and geometric
variations together with better alignment and registration to the original
defect background.
- Abstract(参考訳): 本研究は,クリーンな参照画像に基づく欠陥異常検出の問題に対処する。
具体的には,sem半導体欠陥と自然画像異常に注目する。
人工参照画像の欠陥標本によるシミュレーションを作成する方法はよく知られている。
本研究では, シミュレーションされた参照が, 結果の改善に有効であることを示す。
これらの欠陥検出手法には、差動画像に適用した古典的コンピュータビジョン、人間のラベルに基づく教師付きディープラーニング(DL)、正常な参照画像の特徴レベルパターンに基づいて訓練された教師なしDLなどがある。
本研究では,これらの欠陥と異常検出のためのシミュレーション参照画像を正しく組み込む方法を示す。
本実験で示すように、シミュレーション基準は欠陥や異常の画像の実際の参照よりも高い性能を達成する。
このシミュレートされた参照の利点は、主にノイズや幾何学的変動の少ないことと、元の欠陥背景へのアライメントと登録の改善によって生じる。
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