論文の概要: Generation of Spatially Coherent Light at Extreme Ultraviolet Wavelengths

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2403.19750v1
• Date: Thu, 28 Mar 2024 18:02:38 GMT
• ステータス: 処理完了
• システム内更新日: 2024-04-01 17:33:35.719103
• Title: Generation of Spatially Coherent Light at Extreme Ultraviolet Wavelengths
• Title（参考訳）: 極紫外波長における空間コヒーレント光の発生
• Authors: Randy A. Bartels, Ariel Paul, Hans Green, Henry C. Kapteyn, Margaret M. Murnane, Sterling Backus, Ivan P. Christov, Yanwei Liu, David Attwood, Chris Jacobsen,
• Abstract要約: フェムト秒レーザーの高調波アップコンバージョンによる極紫外光の空間コヒーレンスの測定を行った。 このレーザーのようなEUV源のコヒーレンスは、小さな物体のガボルホログラムを記録することによって実証される。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 1.996129992043594
• License: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
• Abstract: We present spatial coherence measurements of extreme-ultraviolet light generated using the process of high-harmonic upconversion of a femtosecond laser. Using a phase-matched hollow-fiber geometry, the generated beam is found to exhibit essentially full spatial coherence. The coherence of this laser-like EUV source is demonstrated by recording Gabor holograms of small objects. This work demonstrates the capability to do EUV holography using a tabletop experimental setup. Such an EUV source, with low divergence and high spatial coherence, can be used for experiments such as high-precision metrology, inspection of optical components for EUV lithography (1), and for microscopy and holography (2) with nanometer resolution. Furthermore, the short time duration of the EUV radiation (a few femtoseconds) will enable EUV microscopy and holography to be performed with ultrahigh time resolution.
• Abstract（参考訳）: フェムト秒レーザーの高調波アップコンバージョンによる極紫外光の空間コヒーレンス測定を行った。 位相整合中空ファイバー幾何学を用いて、生成したビームは本質的に完全な空間コヒーレンスを示す。 このレーザーのようなEUV源のコヒーレンスは、小さな物体のガボルホログラムを記録することによって実証される。 この研究は、テーブルトップ実験装置を用いてEUVホログラフィーを行う能力を示す。 これらのEUV源は、低ばらつきと高空間コヒーレンスを持つもので、高精度なメトロジー、EUVリソグラフィーのための光学部品の検査、ナノメートル分解能の顕微鏡・ホログラフィー(2)に利用できる。 さらに、EUV放射の短い時間(数フェムト秒)は、EUV顕微鏡とホログラフィーを超高分解能で行うことができる。

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