論文の概要: CAMO: Correlation-Aware Mask Optimization with Modulated Reinforcement Learning
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2404.00980v1
- Date: Mon, 1 Apr 2024 07:52:05 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2024-04-03 23:06:39.294066
- Title: CAMO: Correlation-Aware Mask Optimization with Modulated Reinforcement Learning
- Title(参考訳): CAMO: 改良強化学習による相関性を考慮したマスク最適化
- Authors: Xiaoxiao Liang, Haoyu Yang, Kang Liu, Bei Yu, Yuzhe Ma,
- Abstract要約: OPC問題の重要な原則を特に統合した強化学習型OPCシステムであるCAMOを提案する。
その結果,CAMOは学術・産業ともに最先端のOPCエンジンより優れていた。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 18.05743927413266
- License: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/
- Abstract: Optical proximity correction (OPC) is a vital step to ensure printability in modern VLSI manufacturing. Various OPC approaches based on machine learning have been proposed to pursue performance and efficiency, which are typically data-driven and hardly involve any particular considerations of the OPC problem, leading to potential performance or efficiency bottlenecks. In this paper, we propose CAMO, a reinforcement learning-based OPC system that specifically integrates important principles of the OPC problem. CAMO explicitly involves the spatial correlation among the movements of neighboring segments and an OPC-inspired modulation for movement action selection. Experiments are conducted on both via layer patterns and metal layer patterns. The results demonstrate that CAMO outperforms state-of-the-art OPC engines from both academia and industry.
- Abstract(参考訳): 光近接補正(OPC)は、現代のVLSI製造において印刷性を確保するための重要なステップである。
機械学習に基づく様々なOPCアプローチが、パフォーマンスと効率を追求するために提案されている。
本稿では,OPC問題の重要な原則を具体的に統合した強化学習型OPCシステムであるCAMOを提案する。
CAMOは、隣接するセグメントの動き間の空間的相関と、OPCにインスパイアされた運動行動選択の変調を明示的に含んでいる。
層パターンと金属層パターンの両方を用いて実験を行う。
その結果,CAMOは学術・産業ともに最先端のOPCエンジンより優れていた。
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