Fugu-MT 論文翻訳(概要): Wafer-scale fabrication of evacuated alkali vapor cells

論文の概要: Wafer-scale fabrication of evacuated alkali vapor cells

arxiv url: http://arxiv.org/abs/2405.11088v1
Date: Fri, 17 May 2024 20:45:33 GMT
ステータス: 処理完了
システム内更新日: 2024-05-21 19:27:00.782130
Title: Wafer-scale fabrication of evacuated alkali vapor cells
Title（参考訳）: 脱落したアルカリ気相細胞のウェハスケール製造
Authors: Yang Li, Donggyu B. Sohn, Matthew Hummon, Susan Schima, John Kitching,
Abstract要約: シリコンウェハ表面上のセル間の細長いチャネルをエッチングすることにより, 排ガス中の残留ガス圧を0.5 kPa (4 Torr) 以下に低減し, 収率を50%以上とした。これらの大量生産可能なアルカリ気相セル内の低残留ガス圧力は、新しい低コストのチップスケール原子デバイスを可能にする。
参考スコア（独自算出の注目度）: 1.9857357818932064
License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
Abstract: We describe a process for fabricating a wafer-scale array of alkali metal vapor cells with low residual gas pressure. We show that by etching long, thin channels between the cells on the Si wafer surface, the residual gas pressure in the evacuated vapor cell can be reduced to below 0.5 kPa (4 Torr) with a yield above 50 %. The low residual gas pressure in these mass-producible alkali vapor cells can enable a new generation of low-cost chip-scale atomic devices such as vapor cell optical clocks, wavelength references, and Rydberg sensors.
Abstract（参考訳）: 本報告では, アルカリ金属蒸気セルのウェハスケールアレイを低ガス圧で作製するプロセスについて述べる。シリコンウェハ表面上のセル間の細長いチャネルをエッチングすることにより, 排ガス中の残留ガス圧を0.5 kPa (4 Torr) 以下に低減し, 収率を50%以上とした。これらの大量生産可能なアルカリ気相セル内の低残留ガス圧力は、蒸気セル光時計、波長基準、およびライドバーグセンサーなどの低コストのチップスケール原子デバイスを新たに生成することができる。

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