論文の概要: Discovering deposition process regimes: leveraging unsupervised learning for process insights, surrogate modeling, and sensitivity analysis
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2405.18444v1
- Date: Fri, 24 May 2024 14:10:22 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2024-05-30 22:22:47.110070
- Title: Discovering deposition process regimes: leveraging unsupervised learning for process insights, surrogate modeling, and sensitivity analysis
- Title（参考訳）: 堆積プロセス体制の解明--プロセスインサイト、代理モデリング、感度分析に教師なし学習を活用する
- Authors: Geremy Loachamín Suntaxi, Paris Papavasileiou, Eleni D. Koronaki, Dimitrios G. Giovanis, Georgios Gakis, Ioannis G. Aviziotis, Martin Kathrein, Gabriele Pozzetti, Christoph Czettl, Stéphane P. A. Bordas, Andreas G. Boudouvis,
- Abstract要約: 本研究は,化学気相沈着(CVD)反応器の堆積過程を解明するための包括的アプローチを導入する。
我々の方法論は、プロセスの異なる状態に対応する"アウトカム"のクラスタを特定するために、詳細なCFDモデルによって導かれるプロセス結果に依存しています。
この現象はArrheniusプロット解析により実験的に検証され,本手法の有効性が確認された。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.1558630944877332
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: This work introduces a comprehensive approach utilizing data-driven methods to elucidate the deposition process regimes in Chemical Vapor Deposition (CVD) reactors and the interplay of physical mechanism that dominate in each one of them. Through this work, we address three key objectives. Firstly, our methodology relies on process outcomes, derived by a detailed CFD model, to identify clusters of "outcomes" corresponding to distinct process regimes, wherein the relative influence of input variables undergoes notable shifts. This phenomenon is experimentally validated through Arrhenius plot analysis, affirming the efficacy of our approach. Secondly, we demonstrate the development of an efficient surrogate model, based on Polynomial Chaos Expansion (PCE), that maintains accuracy, facilitating streamlined computational analyses. Finally, as a result of PCE, sensitivity analysis is made possible by means of Sobol' indices, that quantify the impact of process inputs across identified regimes. The insights gained from our analysis contribute to the formulation of hypotheses regarding phenomena occurring beyond the transition regime. Notably, the significance of temperature even in the diffusion-limited regime, as evidenced by the Arrhenius plot, suggests activation of gas phase reactions at elevated temperatures. Importantly, our proposed methods yield insights that align with experimental observations and theoretical principles, aiding decision-making in process design and optimization. By circumventing the need for costly and time-consuming experiments, our approach offers a pragmatic pathway towards enhanced process efficiency. Moreover, this study underscores the potential of data-driven computational methods for innovating reactor design paradigms.
- Abstract（参考訳）: 本研究は, 化学気相堆積(CVD)反応器における沈着過程の解明にデータ駆動方式を応用した包括的アプローチと, それぞれに支配的な物理機構の相互作用を導入する。
この作業を通じて、我々は3つの重要な目標に対処する。
第一に,本手法は, 入力変数の相対的影響を顕著に変化させるプロセス機構に対応する「成果」のクラスタを特定するために, 詳細なCFDモデルによって導かれるプロセス結果に依存している。
この現象はArrheniusプロット解析により実験的に検証され,本手法の有効性が確認された。
次に,PCE(Polynomial Chaos Expansion)に基づく効率的なサロゲートモデルの開発について述べる。
最後に、PCEの結果、ソボの指標を用いて感度分析が可能となり、特定されたレシフィケーション全体にわたるプロセス入力の影響を定量化する。
この分析から得られた知見は、遷移体制を超えた現象に関する仮説の定式化に寄与する。
特に、Arrheniusプロットで証明されているように、拡散制限状態においても温度の重要性は、高温でのガス相反応の活性化を示唆している。
提案手法は, プロセス設計と最適化における意思決定を支援するため, 実験的な観察と理論原理に整合した洞察を導出する。
コストと時間のかかる実験の必要性を回避することで、我々のアプローチはプロセス効率を向上させるための実践的な道筋を提供する。
さらに, この研究は, 原子炉設計パラダイムを革新するためのデータ駆動型計算手法の可能性を強調した。
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