論文の概要: CMOS-fabricated ultraviolet light modulators using low-loss alumina piezo-optomechanical photonic circuits
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2407.00469v2
- Date: Tue, 2 Jul 2024 13:40:34 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2024-07-04 03:06:00.765219
- Title: CMOS-fabricated ultraviolet light modulators using low-loss alumina piezo-optomechanical photonic circuits
- Title（参考訳）: 低損失アルミナ圧電オプトメカニカル光回路を用いたCMOSファブリック紫外光変調器
- Authors: Roman Shugayev, Daniel Dominguez, Andrew Leenheer, Bethany Little, Matthew N. H. Chow, Nicholas Karl, Matt Koppa, Michael Gehl, Yuan-Yu Jau, Matt Eichenfield,
- Abstract要約: CMOSファブリケート型圧電オプトメカニカル光光学集積回路プラットフォームを紫外および青色の波長で実証する。
圧電駆動型MEMSカンチレバー位相シフト器を320nmまで下げたブロードバンド振幅変調器を30dBの高減衰率で示す。
これらの結果は、UVフォトニクス、量子科学、センシング、分光学における様々な新しい応用の扉を開く必要がある。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: We demonstrate a CMOS-foundry-fabricated piezo-optomechanical photonic integrated circuit platform for ultraviolet and blue wavelengths, using alumina waveguides that are strongly mechanically coupled to monolithically integrated aluminum nitride piezoelectric actuators. Low waveguide losses are measured down to at least 320 nm, where we achieve 1.6 dB/cm. This allows us to demonstrate broadband amplitude modulators based on piezoelectrically actuated MEMS cantilever phase-shifters down to 320 nm, with a high extinction ratio of 30 dB. We further demonstrate the versatility of the platform by designing and demonstrating a modulator that can work with high extinction and low loss at 320 nm and 420 nm, simultaneously, demonstrating control of multiple, disparate wavelengths in one device. We also demonstrate narrow-band resonant racetrack modulators with quality factors of 4.7E5 and a tuning rate of 27.5 MHz/V. These results should open doors for a range of novel applications in UV photonics, quantum science, sensing and spectroscopy.
- Abstract（参考訳）: モノリシック集積型窒化アルミニウム圧電アクチュエータと強く結合したアルミナ導波路を用いて, CMOSを用いた紫外・青色波長用圧電光学集積回路プラットフォームを試作した。
低導波路損失は少なくとも320nmまで測定され、1.6dB/cmに達する。
これにより、圧電励起MEMSカンチレバー位相シフト器を320nmまで高減衰率30dBのブロードバンド振幅変調器を実演できる。
さらに,320nmと420nmで高い劣化と低損失を同時に行うことができる変調器を設計・実証し,複数の異なる波長の制御を同時に行うことで,プラットフォームの汎用性を実証する。
また,4.7E5と27.5MHz/Vの調整率を有する狭帯域共振式レーストラック変調器の試作を行った。
これらの結果は、UVフォトニクス、量子科学、センシング、分光学における様々な新しい応用の扉を開く必要がある。
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