論文の概要: Silicon Double-Disk Optomechanical Resonators from Wafer-Scale Double-Layered Silicon-on-Insulator

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2408.00219v1
• Date: Thu, 1 Aug 2024 01:08:35 GMT
• ステータス: 処理完了
• システム内更新日: 2024-08-04 22:04:56.495066
• Title: Silicon Double-Disk Optomechanical Resonators from Wafer-Scale Double-Layered Silicon-on-Insulator
• Title（参考訳）: ウエハスケール2層シリコンオン絶縁体からのシリコンダブルディスク光機械共振器
• Authors: Amy Navarathna, Benjamin J. Carey, James S. Bennett, Soroush Khademi, Warwick P. Bowen,
• Abstract要約: WGM(Whispering Gallery Mode)は、ナノスケールにおける光学的および機械的自由度を同時に制御し測定するための有望な技術である。 WGM共振器は、その周囲に共局在した機械的モードと光学的モードを強く相互作用させる。 シリコン二重ディスクWGM共振器の大規模集積化は、これまで実証されていない。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
• License: http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
• Abstract: Whispering gallery mode (WGM) optomechanical resonators are a promising technology for the simultaneous control and measurement of optical and mechanical degrees of freedom at the nanoscale. They offer potential for use across a wide range of applications such as sensors and quantum transducers. Double-disk WGM resonators, which host strongly interacting mechanical and optical modes co-localized around their circumference, are particularly attractive due to their high optomechanical coupling. Large-scale integrated fabrication of silicon double-disk WGM resonators has not previously been demonstrated. In this work we present a process for the fabrication of double-layer silicon-on-insulator wafers, which we then use to fabricate functional optomechanical double silicon disk resonators with on-chip optical coupling. The integrated devices present an experimentally observed optical quality factors of the order of 10^5 and a single-photon optomechanical coupling of approximately 15 kHz.
• Abstract（参考訳）: WGM(Whispering Gallery Mode)は、ナノスケールにおける光学的および機械的自由度を同時に制御し測定するための有望な技術である。 センサーや量子トランスデューサなど、幅広い用途で利用できる可能性がある。 二重ディスクWGM共振器は、その周囲に強く相互作用するメカニカルモードとオプティカルモードを共局在させるが、特に高いオプトメカニカルカップリングのために魅力的である。 シリコン二重ディスクWGM共振器の大規模集積化は、これまで実証されていない。 本研究は,2層シリコンオン絶縁体ウェハの製造プロセスについて述べる。 集積デバイスは、10^5の順の光学的品質因子と、約15kHzの単一光子光学的カップリングを実験的に観測した。

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