論文の概要: Impact of surface roughness on the stability of nanoelectromechanical pressure sensors in the Casimir regime
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2506.00179v1
- Date: Fri, 30 May 2025 19:33:44 GMT
- ステータス: 翻訳完了
- システム内更新日: 2025-06-04 21:47:32.48379
- Title: Impact of surface roughness on the stability of nanoelectromechanical pressure sensors in the Casimir regime
- Title（参考訳）: カジミールのナノ電磁圧センサの安定性に及ぼす表面粗さの影響
- Authors: G. L. Klimchitskaya, A. S. Korotkov, V. V. Loboda, V. M. Mostepanenko,
- Abstract要約: カシミール系におけるナノエレクトロメカニカル圧力センサの安定性は, センサ膜および接地板の表面粗さを考慮して検討した。
センサ膜の平衡位置は, 外部の測定値, 弾性, 電気的圧力, およびリフシッツ理論を用いて計算したカシミール圧力のバランスから得られる。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: The stability of nanoelectromechanical pressure sensors working in the Casimir regime is considered with account of surface roughness on both the sensor membrane and the ground plate. The equilibrium positions of the sensor membrane are found from the balance between the external measured, elastic, electric pressures, and the Casimir pressure computed by means of the Lifshitz theory. It is shown that the stable equilibrium position of the sensor membrane is nearly independent of the surface roughness, whereas its unstable equilibrium position is shifted to larger membrane-plate separations. The use of these results for creatign pressure sensors with further shrinked dimensions is discussed.
- Abstract（参考訳）: カシミール系におけるナノエレクトロメカニカル圧力センサの安定性は, センサ膜および接地板の表面粗さを考慮して検討した。
センサ膜の平衡位置は, 外部の測定値, 弾性, 電気的圧力, およびリフシッツ理論を用いて計算したカシミール圧力のバランスから得られる。
その結果, センサ膜の安定平衡位置は表面粗さとほぼ無関係であるが, 不安定平衡位置はより大きな膜板分離に移動することがわかった。
これらの結果を用いて, より縮小した寸法を有する粘着型圧力センサについて検討した。
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