論文の概要: Signal-to-Noise Ratio in Scanning Electron Microscopy: A Comprehensive Review

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2510.07886v1
• Date: Thu, 09 Oct 2025 07:38:46 GMT
• ステータス: 翻訳完了
• システム内更新日: 2025-10-10 17:54:14.934622
• Title: Signal-to-Noise Ratio in Scanning Electron Microscopy: A Comprehensive Review
• Title（参考訳）: 走査型電子顕微鏡における信号対雑音比:総括的考察
• Authors: K. S. Sim, I. Bukhori, D. C. Y. Ong, K. B. Gan,
• Abstract要約: 走査電子顕微鏡(SEM)における信号対雑音比(SNR)は必須パラメータである SEMは様々な科学分野で広く使われているが、その用途はノイズによって損なわれ、画像の明瞭さを低下させる。 本稿では,SEMの主動作,SEMのノイズ源,SNR計測と推定方法,SNR計測に影響を及ぼすさまざまな側面,SNR向上へのアプローチなど,SEMイメージングプロセスのさまざまな側面について考察する。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
• License: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
• Abstract: Scanning Electron Microscopy (SEM) is critical in nanotechnology, materials science, and biological imaging due to its high spatial resolution and depth of focus. Signal-to-noise ratio (SNR) is an essential parameter in SEM because it directly impacts the quality and interpretability of the images. SEM is widely used in various scientific disciplines, but its utility can be compromised by noise, which degrades image clarity. This review explores multiple aspects of the SEM imaging process, from the principal operation of SEM, sources of noise in SEM, methods for SNR measurement and estimations, to various aspects that affect the SNR measurement and approaches to enhance SNR, both from a hardware and software standpoint. We review traditional and emerging techniques, focusing on their applications, advantages, and limitations. The paper aims to provide a comprehensive understanding of SNR optimization in SEM for researchers and practitioners and to encourage further research in the field.
• Abstract（参考訳）: 走査型電子顕微鏡(SEM)は、高空間分解能と焦点深度のためナノテクノロジー、材料科学、生体イメージングにおいて重要である。 信号対雑音比(SNR)は、画像の品質と解釈可能性に直接影響を与えるため、SEMにおいて必須パラメータである。 SEMは様々な科学分野で広く使われているが、その用途はノイズによって損なわれ、画像の明瞭さを低下させる。 本稿では、SEMの主動作、SEMのノイズ源、SNR計測と推定方法、SNR計測に影響を与える様々な側面、SNRのハードウェアおよびソフトウェアの観点からSNRを強化するためのアプローチなど、SEMイメージングプロセスのさまざまな側面について検討する。 従来のテクニックや新しいテクニックをレビューし、アプリケーションやアドバンテージ、制限に重点を置いています。 本研究の目的は、SEMにおけるSNR最適化の総合的な理解と、その分野におけるさらなる研究を促進することである。

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