論文の概要: Suspended photonic crystal membranes in AlGaAs heterostructures for
integrated multi-element optomechanics
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2004.12454v2
- Date: Fri, 28 Aug 2020 19:33:25 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-05-22 02:13:12.402248
- Title: Suspended photonic crystal membranes in AlGaAs heterostructures for
integrated multi-element optomechanics
- Title（参考訳）: 集積多素子光学用AlGaAsヘテロ構造における懸濁フォトニック結晶膜
- Authors: Sushanth Kini Manjeshwar, Karim Elkhouly, Jamie M. Fitzgerald, Martin
Ekman, Yanchao Zhang, Fan Zhang, Shu Min Wang, Philippe Tassin, Witlef
Wieczorek
- Abstract要約: AlGaAsヘテロ構造から作製した高反射率機械共振器について述べる。
機械共振器はGaAsのスラブで製造され、フォトニック結晶でパターン化され、外面反射率を高める。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 8.399394629667363
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: We present high-reflectivity mechanical resonators fabricated from AlGaAs
heterostructures for use in free-space optical cavities operating in the
telecom wavelength regime. The mechanical resonators are fabricated in slabs of
GaAs and patterned with a photonic crystal to increase their out-of-plane
reflectivity. Characterization of the mechanical modes reveals residual tensile
stress in the GaAs device layer. This stress results in higher mechanical
frequencies than in unstressed GaAs and can be used for strain engineering of
mechanical dissipation. Simultaneously, we find that the finite waist of the
incident optical beam leads to a dip in the reflectance spectrum. This feature
originates from coupling to a guided resonance of the photonic crystal, an
effect that must be taken into account when designing slabs of finite size. The
single- and sub-$\upmu$m-spaced double-layer slabs demonstrated here can be
directly fabricated on top of a distributed Bragg reflector mirror in the same
material platform. Such a platform opens a route for realizing integrated
multi-element cavity optomechanical devices and optomechanical microcavities on
chip.
- Abstract（参考訳）: テレコム波長帯で動作する自由空間光キャビティ用AlGaAsヘテロ構造体から作製した高反射率機械共振器について述べる。
機械共振器はGaAsのスラブで製造され、フォトニック結晶でパターン化され、外面反射率を高める。
メカニカルモードのキャラクタリゼーションにより、GaAsデバイス層に残留な引張応力が生じる。
この応力は、非応力GaAsよりも高い機械周波数をもたらし、機械散逸のひずみ工学に使用できる。
同時に、入射光ビームの有限ウエストが反射スペクトルの低下に繋がることがわかった。
この特徴は、有限サイズのスラブを設計する際に考慮しなければならない効果であるフォトニック結晶の誘導共鳴への結合に由来する。
ここで実証されたシングルおよびサブ$\upmu$m空間の二重層スラブは、同じ材料プラットフォーム内の分散ブラッグ反射鏡上に直接作製することができる。
このようなプラットフォームは、チップ上の多素子キャビティ光機械装置と光機械的マイクロキャビティの統合を実現するための経路を開く。
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