Fugu-MT 論文翻訳(概要): Fabrication of Metal Air Bridges for Superconducting Circuits using Two-photon Lithography

論文の概要: Fabrication of Metal Air Bridges for Superconducting Circuits using Two-photon Lithography

arxiv url: http://arxiv.org/abs/2503.10909v1
Date: Thu, 13 Mar 2025 21:46:11 GMT
ステータス: 翻訳完了
システム内更新日: 2025-03-17 13:05:52.610018
Title: Fabrication of Metal Air Bridges for Superconducting Circuits using Two-photon Lithography
Title（参考訳）: 2光子リソグラフィーによる超電導回路用金属エアブリッジの作製
Authors: Yi-Hsiang Huang, Haozhi Wang, Zhuo Shen, Austin Thomas, C. J. K. Richardson, B. S. Palmer,
Abstract要約: 超電導エアブリッジ(AB)は、送電線によって中断された場合、地上の平面を電気的に接続するために一般的に使用される。高Q$Ta四分波コプラナー導波路共振器上に35ABを配置した場合にマイクロ波損失の測定値が観測される。
参考スコア（独自算出の注目度）: 1.6492989697868894
License:
Abstract: Extraneous high frequency chip modes parasitic to superconducting quantum circuits can result in decoherence when these modes are excited. To suppress these modes, superconducting air bridges (AB) are commonly used to electrically connect ground planes together when interrupted by transmission lines. Here, we demonstrate the use of two-photon photolithography to build a supporting 3D resist structure in conjunction with a lift-off process to create AB. The resulting aluminum AB, have a superconducting transition temperature $T_{c} = 1.08$ K and exhibit good mechanical strength up to lengths of 100 $\mu$m. A measurable amount of microwave loss is observed when 35 AB were placed over a high-$Q$ Ta quarter-wave coplanar waveguide resonator.
Abstract（参考訳）: 超伝導量子回路に寄生する超高周波チップモードは、これらのモードが励起されるとデコヒーレンスを引き起こす。これらのモードを抑えるため、超伝導空気ブリッジ(AB)は、送電線によって中断された場合、地上の平面を電気的に接続するために一般的に使用される。ここでは,2光子フォトリソグラフィーを用いて3次元レジスト構造を構築し,リフトオフプロセスと組み合わせてABを生成する。得られたアルミニウムABは超伝導転移温度$T_{c} = 1.08$Kであり、100$\mu$mまでの機械的強度が良好である。高Q$Ta四分波コプラナー導波路共振器上に35ABを配置した場合にマイクロ波損失の測定値が観測される。

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