論文の概要: Lower-temperature fabrication of airbridges by grayscale lithography to
increase yield of nanowire transmons in circuit QED quantum processors
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2301.04065v1
- Date: Tue, 10 Jan 2023 16:33:20 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-01-11 17:38:22.304179
- Title: Lower-temperature fabrication of airbridges by grayscale lithography to
increase yield of nanowire transmons in circuit QED quantum processors
- Title（参考訳）: グレースケールリソグラフィーによるエアブリッジの低温製造と回路QED量子プロセッサにおけるナノワイヤトランスモンの収率向上
- Authors: T. Stavenga and L. DiCarlo
- Abstract要約: 量子ハードウェアは、コプラナー・導波路伝送路における不要な波動伝播のモードを抑制するためにエアブリッジを使用する。
伝統的なエアブリッジ製造は、金属化に先立って高温でレジストを逆流することで湾曲したプロファイルを生成する。
リフローの代わりにグレースケールリソグラフィーを用いて、ピークエアブリッジの処理温度を200ドルから150ドルに下げる。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: Quantum hardware based on circuit quantum electrodynamics makes extensive use
of airbridges to suppress unwanted modes of wave propagation in
coplanar-waveguide transmission lines. Airbridges also provide an interconnect
enabling transmission lines to cross. Traditional airbridge fabrication
produces a curved profile by reflowing resist at elevated temperature prior to
metallization. The elevated temperature can affect the coupling energy and even
yield of pre-fabricated Josephson elements of superconducting qubits, tuneable
couplers and resonators. We employ grayscale lithography in place of reflow to
reduce the peak airbridge processing temperature from $200$ to
$150^\circ\mathrm{C}$, showing a substantial yield increase of transmon qubits
with Josephson elements realized using Al-contacted InAs nanowires.
- Abstract（参考訳）: 回路量子力学に基づく量子ハードウェアは、コプラナー導波路伝送路における不要な波動伝播のモードを抑制するためにエアブリッジを広範囲に利用している。
エアブリッジはまた、送電線の交差を可能にするインターコネクトを提供する。
従来のエアブリッジ製造は、金属化前に高温でレジストを還流させることで湾曲した形状を作り出す。
高温は、超伝導量子ビット、チューニング可能なカプラ、共振器のプレハブジョセフソン素子の結合エネルギーや収量に影響を及ぼす可能性がある。
我々は,リフローの代わりに灰色スケールリソグラフィを用いてピークエアブリッジ処理温度を200ドルから150ドルに削減し,al接触inasナノワイヤを用いたジョセフソン素子を用いたトランスモン量子ビットのかなりの収率増加を示した。
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