論文の概要: Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2503.13285v1
- Date: Mon, 17 Mar 2025 15:37:37 GMT
- ステータス: 翻訳完了
- システム内更新日: 2025-03-18 14:56:58.352982
- Title: Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing
- Title（参考訳）: 二目的スピントロニクス蒸着室と無酸性後処理によるSi超伝導共振器の低損失Nb
- Abstract要約: 磁気不純物は超伝導を劣化させることが知られている。
これまで磁性材料に用いられてきた物理的蒸着室は超伝導共振器の製造に利用できる。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 29.23395542252554
- License: http://creativecommons.org/licenses/by/4.0/
- Abstract: Magnetic impurities are known to degrade superconductivity. For this reason, physical vapor deposition chambers that have previously been used for magnetic materials have generally been avoided for making high-quality superconducting resonator devices. In this article, we show by example that such chambers can be used: with Nb films sputtered in a chamber that continues to be used for magnetic materials, we demonstrate compact (3 {\mu}m gap) coplanar waveguide resonators with low-power internal quality factors near one million. We achieve this using a resist strip bath with no post-fabrication acid treatment, which results in performance comparable to previous strip baths with acid treatments. We also find evidence that this improved resist strip bath provides a better surface chemical template for post-fabrication hydrogen fluoride processing. These results are consistent across three Si substrate preparation methods, including a \SI{700}{\celsius} anneal.
- Abstract（参考訳）: 磁気不純物は超伝導を劣化させることが知られている。
このため、これまで磁性材料に用いられてきた物理的蒸着室は、高品質の超伝導共振器の製造には一般的に避けられている。
本稿では, Nb膜を磁気材料として使用し続けるチャンバーにスパッタリングすることで, 内部品質が100万近いコプラナー導波路共振器の小型化を実演する。
酸処理後処理のないレジストストリップ浴を用いてこれを達成し,酸処理前のストリップ浴に匹敵する性能を示した。
また, この改良されたレジストストリップ浴は, フッ化水素後処理に優れた表面化学テンプレートを提供することを示す。
これらの結果は、SI{700}{\celsius}アニールを含む3つのSi基板合成法で一致している。
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論文 参考訳（メタデータ） (2020-04-06T18:01:15Z)
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