論文の概要: Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing

• arxiv url: http://arxiv.org/abs/2503.13285v1
• Date: Mon, 17 Mar 2025 15:37:37 GMT
• ステータス: 翻訳完了
• システム内更新日: 2025-03-18 12:28:32.875705
• Title: Low-loss Nb on Si superconducting resonators from a dual-use spintronics deposition chamber and with acid-free post-processing
• Title（参考訳）: 二目的スピントロニクス蒸着室と無酸性後処理によるSi超伝導共振器の低損失Nb
• Authors: Maciej W. Olszewski, Jadrien T. Paustian, Tathagata Banerjee, Haoran Lu, Jorge L. Ramirez, Nhi Nguyen, Kiichi Okubo, Rohit Pant, Aleksandra B. Biedron, Daniel C. Ralph, Christopher J. K. Richardson, Gregory D. Fuchs, Corey Rae H. McRae, Ivan V. Pechenezhskiy, B. L. T. Plourde, Valla Fatemi,
• Abstract要約: 磁気不純物は超伝導を劣化させることが知られている。 これまで磁性材料に用いられてきた物理的蒸着室は超伝導共振器の製造に利用できる。
• 参考スコア（独自算出の注目度）: 29.23395542252554
• License:
• Abstract: Magnetic impurities are known to degrade superconductivity. For this reason, physical vapor deposition chambers that have previously been used for magnetic materials have generally been avoided for making high-quality superconducting resonator devices. In this article, we show by example that such chambers can be used: with Nb films sputtered in a chamber that continues to be used for magnetic materials, we demonstrate compact (3 {\mu}m gap) coplanar waveguide resonators with low-power internal quality factors near one million. We achieve this using a resist strip bath with no post-fabrication acid treatment, which results in performance comparable to previous strip baths with acid treatments. We also find evidence that this improved resist strip bath provides a better surface chemical template for post-fabrication hydrogen fluoride processing. These results are consistent across three Si substrate preparation methods, including a \SI{700}{\celsius} anneal.
• Abstract（参考訳）: 磁気不純物は超伝導を劣化させることが知られている。 このため、これまで磁性材料に用いられてきた物理的蒸着室は、高品質の超伝導共振器の製造には一般的に避けられている。 本稿では, Nb膜を磁気材料として使用し続けるチャンバーにスパッタリングすることで, 内部品質が100万近いコプラナー導波路共振器の小型化を実演する。 酸処理後処理のないレジストストリップ浴を用いてこれを達成し,酸処理前のストリップ浴に匹敵する性能を示した。 また, この改良されたレジストストリップ浴は, フッ化水素後処理に優れた表面化学テンプレートを提供することを示す。 これらの結果は、SI{700}{\celsius}アニールを含む3つのSi基板合成法で一致している。

関連論文リスト

• Single photon emitters in monolayer semiconductors coupled to transition metal dichalcogenide nanoantennas on silica and gold substrates [49.87501877273686]
  遷移金属ジアルコゲナイド(TMD)単一光子エミッタは、量子情報応用に多くの利点をもたらす。 シリコンやガリウムホスプヒド(GaP)などのナノ共振器の製造に用いられる伝統的な材料は、高い屈折率の基質を必要とすることが多い。 ここでは,多層TMDで作製したナノアンテナ(NA)を用いて,基板選択による完全な柔軟性を実現する。
  論文  参考訳（メタデータ） (2024-08-02T07:44:29Z)
• Site-Controlled Purcell-Induced Bright Single Photon Emitters in Hexagonal Boron Nitride [62.170141783047974]
  六方晶窒化ホウ素(hBN)でホストされる単一光子エミッタは、室温で動作する量子フォトニクス技術にとって必須の構成要素である。 我々はPurcellにより誘導されるサイト制御SPEのためのプラズモンナノ共振器の大規模アレイを実験的に実証した。 我々の結果は、明るく、均一に統合された量子光源の配列を提供し、堅牢でスケーラブルな量子情報システムへの道を開いた。
  論文  参考訳（メタデータ） (2024-05-03T23:02:30Z)
• Performance of Superconducting Resonators Suspended on SiN Membranes [7.626965397124747]
  薄いSiN膜上の懸架装置は、バルク基板との相互作用を制限し、地中への寄生容量を減少させることができる。 超伝導コプラナー導波路共振器をSiN薄膜上に完全に製造する。 薄肉SiN膜に完全に懸濁した高品質超伝導回路デバイスを実現することにより,本技術の適用範囲を拡大する上で有効である。
  論文  参考訳（メタデータ） (2024-05-02T23:53:05Z)
• Microwave loss characterization using multi-mode superconducting resonators [0.0]
  単一多モード超伝導共振器を用いて材料と界面のマイクロ波損失を測定する手法を提案する。 バルク超電導体研究のための2種類の多モード超伝導共振器を提案する。
  論文  参考訳（メタデータ） (2023-05-03T03:10:41Z)
• High-kinetic inductance NbN films for high-quality compact superconducting resonators [0.4577805448875385]
  窒化ニオブ (NbN) は量子技術応用のための有望な材料である。 NbN薄膜を用いた共振器は10ドル以上の1光子内部品質係数を示す。 本研究は, 窒化ニオブ高速度インダクタンス共振器の汎用性を示すものである。
  論文  参考訳（メタデータ） (2023-02-27T16:29:17Z)
• Van der Waals Materials for Applications in Nanophotonics [49.66467977110429]
  本稿では, ナノフォトニクスプラットフォームとして, 層状ファンデルワールス結晶(vdW)を創出する。 機械的に剥離した薄膜(20-200nm)ファンデルワールス結晶の誘電応答を抽出し, 高い屈折率をn=5。 SiO$と金でナノアンテナを作製し,vdW薄膜と各種基板との相溶性を利用した。
  論文  参考訳（メタデータ） (2022-08-12T12:57:14Z)
• High quality superconducting Nb co-planar resonators on sapphire substrate [0.7259990655101205]
  高温条件下では, Nb薄膜の残留表面抵抗は, 超高品質, バルクNb3D超伝導高周波キャビティで観測された表面抵抗に匹敵することを示した。 低温では2レベルシステムモデルを用いて共振器の品質係数と周波数をよく説明できる。
  論文  参考訳（メタデータ） (2022-07-26T16:35:51Z)
• Epitaxial titanium nitride microwave resonators: Structural, chemical, electrical, and microwave properties [7.161253530199386]
  サファイア基板上に堆積した高結晶およびエピタキシャル窒化チタン薄膜に着目した。 パターンマイクロ波共振器を用いて低温におけるマイクロ波損失について検討した。 この研究は、低損失超伝導量子回路にエピタキシャル窒化チタンを用いる基礎を築いた。
  論文  参考訳（メタデータ） (2021-11-08T01:46:01Z)
• TOF-SIMS Analysis of Decoherence Sources in Nb Superconducting Resonators [48.7576911714538]
  超伝導量子ビットは、潜在的に基盤となるプラットフォーム技術として出現している。 材料品質と界面構造は、デバイスの性能を抑え続けている。 薄膜および隣接領域の2レベル系欠陥はノイズを導入し、電磁エネルギーを散逸させる。
  論文  参考訳（メタデータ） (2021-08-30T22:22:47Z)
• A low-loss ferrite circulator as a tunable chiral quantum system [108.66477491099887]
  単結晶イットリウム鉄ガーネット(YIG)を3次元キャビティ内に構築した低損失導波管循環器を実演した。 超伝導ニオブキャビティとキラル内部モードのコヒーレントカップリングについて述べる。 また、この系の有効非エルミート力学とその有効非相互固有値についても実験的に検討する。
  論文  参考訳（メタデータ） (2021-06-21T17:34:02Z)
• Microscopic Relaxation Channels in Materials for Superconducting Qubits [76.84500123816078]
  我々は,T_$と粒径の相関,粒界に沿った酸素拡散の促進,表面近傍の亜酸化物濃度について検討した。 物理機構は、これらの微視的特性を残留表面抵抗と、粒界および亜酸化物の欠陥から生じる損失を通じて$T_$と結合する。 量子ビットデコヒーレンスチャートを理解するためのこの包括的なアプローチは、超伝導量子ビット性能の材料駆動改善のための経路である。
  論文  参考訳（メタデータ） (2020-04-06T18:01:15Z)

関連論文リストは本サイト内にある論文のタイトル・アブストラクトから自動的に作成しています。

指定された論文の情報です。
本サイトの運営者は本サイト（すべての情報・翻訳含む）の品質を保証せず、本サイト（すべての情報・翻訳含む）を使用して発生したあらゆる結果について一切の責任を負いません。