論文の概要: Metamorphic InAs/InGaAs QWs with electron mobilities exceeding
$7\times10^5cm^2/Vs$
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2206.11590v1
- Date: Thu, 23 Jun 2022 10:03:44 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-02-08 07:13:22.491984
- Title: Metamorphic InAs/InGaAs QWs with electron mobilities exceeding
$7\times10^5cm^2/Vs$
- Title（参考訳）: 電子移動率7\times10^5cm^2/Vs$を超える変成InAs/InGaAsQW
- Authors: A. Benali, P. Rajak, R. Ciancio, J.R. Plaisier, S. Heun, G. Biasiol
- Abstract要約: 分子線エピタキシー法により成長した変成InAs/InGaAs量子井戸におけるひずみ緩和InAlAsバッファ層の影響について検討した。
- 参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
- License: http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
- Abstract: We present a study on the influence of strain-relieving InAlAs buffer layers
on metamorphic InAs/InGaAs quantum wells grown by molecular beam epitaxy on
GaAs. Residual strain in the buffer layer, the InGaAs barrier and the InAs
wells were assessed by X-ray diffraction and high-resolution transmission
electron microscopy. By carefully choosing the composition profile and
thicknesses of the buffer layer, virtually unstrained InGaAs barriers embedding
an InAs quantum well with thickness up to 7nm can be grown. This allows
reaching low-temperature electron mobilities much higher than previously
reported for samples obtained by metamorphic growth on GaAs, and comparable to
the values achieved for samples grown on InP substrates.
- Abstract（参考訳）: 分子線エピタキシー法により成長した変成InAs/InGaAs量子井戸におけるひずみ緩和InAlAsバッファ層の影響について検討した。
バッファ層,InGaAsバリアおよびInAs井戸の残留ひずみをX線回折および高分解能透過電子顕微鏡により評価した。
バッファ層の組成プロファイルと厚さを慎重に選択することにより、InAs量子井戸を最大7nmの厚さで埋め込んだ事実上拘束されていないInGaAsバリアを成長させることができる。
これにより、GaAsの変成成長によって得られた試料に対して、これまで報告されたよりも低温の電子移動率に達することができ、InP基板上で成長した試料の値に匹敵する。
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