Fugu-MT 論文翻訳(概要): Fabrication and surface treatment of electron-beam evaporated niobium for low-loss coplanar waveguide resonators

論文の概要: Fabrication and surface treatment of electron-beam evaporated niobium for low-loss coplanar waveguide resonators

arxiv url: http://arxiv.org/abs/2108.05354v2
Date: Mon, 4 Oct 2021 14:26:31 GMT
ステータス: 処理完了
システム内更新日: 2023-03-18 19:10:16.855840
Title: Fabrication and surface treatment of electron-beam evaporated niobium for low-loss coplanar waveguide resonators
Title（参考訳）: 低損失コプラナー導波路共振器用電子ビーム蒸着ニオブの作製と表面処理
Authors: D. Kowsari, K. Zheng, J. T. Monroe, N. J. Thobaben, X. Du, P. M. Harrington, E. A. Henriksen, D. S. Wisbey, and K. W. Murch
Abstract要約: 高超伝導転移温度(9.20 pm 0.06 rm K$)の低堆積膜膜をコプラナー導波路共振器に加工し, 2段系変動器の存在による固有損失を抽出する。コプラナー導波路共振器ギャップが2mu rm m$の場合、フィルムは充填率調整された2レベル損失タンジェントを1.5倍10-7$で示し、単一光子状態の内部品質因子は100万以上である。
参考スコア（独自算出の注目度）: 0.0
License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
Abstract: We characterize low-loss electron-beam evaporated niobium thin films deposited under ultra-high vacuum conditions. Slow deposition yields films with a high superconducting transition temperature ($9.20 \pm 0.06 \rm ~K$) as well as a residual resistivity ratio of $4.8$. We fabricate the films into coplanar waveguide resonators to extract the intrinsic loss due to the presence of two-level-system fluctuators using microwave measurements. For a coplanar waveguide resonator gap of $2~\mu \rm m$, the films exhibit filling-factor-adjusted two-level-system loss tangents as low as $1.5 \times 10^{-7}$ with single-photon regime internal quality factors in excess of one million after removing native surface oxides of the niobium.
Abstract（参考訳）: 超高真空下で堆積した低損失電子ビーム蒸着ニオブ薄膜を特徴付ける。堆積速度の遅いフィルムは超伝導遷移温度(9.20 \pm 0.06 \rm ~k$)、残留比比は4.8$である。導波路共振器に薄膜を作製し,マイクロ波測定による2レベル変動器の存在による固有損失を抽出する。コプラナー導波路共振器のギャップが2〜\mu \rm m$の場合、ニオブのネイティブ表面酸化物を除去した後、単光子構造の内部品質因子が100万を超える場合、フィルムはフィリングファクタ調整された2レベル損失タンジェントを1.5ドルまで下げる。

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