論文の概要: Laser-lithographically written micron-wide superconducting nanowire
single-photon detectors
- arxiv url: http://arxiv.org/abs/2112.07976v1
- Date: Wed, 15 Dec 2021 09:02:36 GMT
- ステータス: 処理完了
- システム内更新日: 2023-03-04 12:07:32.337161
- Title: Laser-lithographically written micron-wide superconducting nanowire
single-photon detectors
- Title(参考訳): レーザーリソグラフィーによるミクロンワイド超伝導ナノワイヤ単光子検出器
- Authors: Maximilian Protte, Varun B. Verma, Jan Philipp H\"opker, Richard P.
Mirin, Sae Woo Nam, Tim J. Bartley
- Abstract要約: レーザリソグラフィーを用いてシリコン基板上にナノワイヤ単光子検出器を作製した。
電線幅0.59$mu$mから1.43$mu$mの飽和内部検出効率を1550nmで示す。
- 参考スコア(独自算出の注目度): 0.0
- License: http://arxiv.org/licenses/nonexclusive-distrib/1.0/
- Abstract: We demonstrate the fabrication of micron-wide tungsten silicide
superconducting nanowire single-photon detectors on a silicon substrate using
laser lithography. We show saturated internal detection efficiencies with wire
widths from 0.59$\mu$m to 1.43$\mu$m under illumination at 1550nm. We
demonstrate both straight wires, as well as meandered structures. Single-photon
sensitivity is shown in devices up to 4mm in length. Laser-lithographically
written devices allow for fast and easy structuring of large areas while
maintaining a saturated internal efficiency for wire width around 1$\mu$m.
- Abstract(参考訳): シリコン基板上にレーザーリソグラフィを用いたマイクロn広帯域のtungsten超伝導ナノワイヤ単光子検出器の作製を実証する。
電線幅0.59$\mu$mから1.43$\mu$mの飽和内部検出効率を1550nmの照明下で示す。
我々は直線線と蛇行構造の両方を実証する。
単一光子の感度は最大4mmのデバイスで示される。
レーザーリソグラフィーで書かれた装置は、電線幅の飽和した内部効率を約1$\mu$mで維持しながら、広い領域を高速かつ容易に構成することができる。
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